真空燒結(jié)爐是半導體專用設備系列中的一種新型工藝設備，設計新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊。它可以在一臺設備上完成多個工藝流程。安裝現(xiàn)場應符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風良好，工地不易揚塵等。   安裝真空燒結(jié)爐的場所應符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起灰塵等。

　　1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

　　2、控制柜安裝在相應的地基上，并固定。

　　3、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。

　　4、檢查電器可動部分應活動自如，無卡死現(xiàn)象。

　　5、絕緣電阻應不低于2兆歐姆。

　　6、真空電爐各閥門必須在關閉位置。

　　7、控制電源開關放在關位。

　　8、手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。

　　9、報警鈕放在開位。

　　10、按平面圖完成設備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議在設備總進出水管處再接入一備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。

　　11、安裝完畢后，抽低真空，等水路接通后可試燒一爐，加熱手動/自動升溫，溫度不低于1600℃，加熱時間不少于4小時，預燒結(jié)束后在降溫階段可對擴散泵加熱，擴散泵加熱時間不能小于45分鐘，然后關閉上部的小蝶閥，啟動大擋板閥(或大蝶閥)，觀察真空計的數(shù)值變化，此時真空度應很快小于0.1Pa。